隨著高壓大功率 IGBT 器件容量的進一步提升,對其可靠性考核裝備在測量精度、測試效率等方面提出了挑戰。針對柔性直流輸電用高壓大功率 IGBT 器件的測試需求,自主研制了 90 kW /3 000 A 功率循環測試裝備和100V/200°C高溫柵偏測試裝備(如圖4所示)。功率循環測試裝備可針對柔性直流輸電中壓接型和焊接式兩種不同封裝形式的IGBT開展功率循環測試,至多可實現12個IGBT器件的同時測試。電流等級、波形參數、壓力均獨立可調,功率循環周期為秒級,極限測試能力可達 300 ms,最高壓力達220 kN,虛擬結溫測量精度達±1°C,導通壓降測量精度達±2mV。高溫柵偏測試裝備可實現漏電流和閾值電壓的實時在線監測,至多可實現32個IGBT器件的同時測試。